宣贯培训(2026年)《GBT 16878-1997用于集成电路制造技术的检测图形单元规范》.pptxVIP

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目录

一、从蓝图到芯片：深度剖析GB/T16878-1997如何为集成电路制造构建精密“标尺”与“探针”系统

二、拨开技术迷雾：专家视角解析检测图形单元的核心内涵与在IC制造全流程中的灵魂作用

三、规范解构与前瞻：逐条深度解读标准技术要素，并预测其在先进制程下的演进趋势

四、构筑质量长城：探究检测图形单元在工艺监控、缺陷捕获与良率提升中的实战应用图谱

五、跨越设计与制造的鸿沟：深度剖析标准如何实现设计规则与工艺能力的精准对齐与验证

六、迎接挑战与机遇：聚焦纳米时代检测图形设计面临的核心难点、热点争议与创新解决方案

七、超越静态规范：动态视角下检测图形单元在集成工艺开发与在线监