宣贯培训(2026年)《GBT 16943-2009电子工业用气体 氦》.pptxVIP

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一、二、三、四、五、六、七、八、九、十、一、专家深度剖析：为何GB/T16943-2009是电子工业氦气品质的“生命线”与未来芯片制造的基石？前瞻未来五年技术演进路径

（一）标准诞生背景与电子工业氦气应用场景全景扫描：从硅片制造到尖端封装的不可或缺角色

GB/T16943-2009的制定源于电子工业，尤其是集成电路、光电子等高端制造领域对高纯氦气的迫切需求。氦气因其化学惰性、低沸点和高热导率，在晶体生长、氧化、溅射、刻蚀等关键工艺中作为保护气、载气或冷却介质，其纯度直接影响到器件的性能、成品率及可靠性。本标准为这些应用场景提供了统一、权威的质量标尺。

（二）核心质量指标体