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氦质谱检漏仪使用说明

一、检漏仪及其真空系统的组成

VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/

秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列

按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统

结构为（分子泵型），如图1：

图1检漏仪真空系统结构图（分子泵型）

检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。如果按

下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，

使分子泵、质谱管和机械泵连通。分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-

4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。

二、检漏仪工作原理

图2检漏仪工作原理图

如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏

孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。质谱管是检漏仪核心组成部

分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电

的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛

仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子

电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转

半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。

三、控制和指示器功能说明：

序

控制、指示器功能

号

VentStartHold

1检漏仪开关时，控制各个阀的动作顺序

和Test按钮

Pressure(压力指

2显示测试口压力，单位millitorr

示)

显示漏率，单位stdcc/sec(标准立方厘米每秒)，超过或低

于测量量程，分别由上下端两个发光二极管（LED）

Leakrate(漏率指

3“over”和“under”显示。随“range”和“Hi-Lo

示)

Sensitivity”档位选择不同，×10-指数窗口将显示4、5、

6、7、8或9作指数

量程选择共四个档位。旋钮上端圆孤指示从左到右，由最小

4Range（量程选择）

漏率（最高灵敏度）到最大漏率（最低灵敏度）

5Zero（调零）电位器调节零点

质谱管灯丝发射后绿色LED显示灯亮，表示检漏仪处于测试

6FIL(灯丝指示)

状态

Hivacok（真空度

7系统真空度达到要求后，绿色LED指示灯亮

ok）

Mainpower(主电

8检漏仪总电源控制

源)

9Focus(聚焦)调节聚焦电位

10ION（离子源控制）调节离子腔室电压，电位器可转10圈

Residual

二位选择开关，检测真空系统残余本底，通常打在Run（运

11background(残余本

行）位置，如果要测氦本底，则打至check(检测)位置。

底)

Coarsezero(粗

12漏率显示粗调

调)

Fil.Selector(灯

13二位开关选择灯丝1或灯丝2

丝选择)

Fil.On–Off（灯

14开关离子源灯丝

丝开关）

15EMIS（发射控制）通过改变灯丝电流来调节离子源电子发射

16AUDI