洁净室及相关受控环境 性能及合理性评价标准立项修订与发展报告.docxVIP

*

《洁净室及相关受控环境性能及合理性评价》标准修订发展报告

EnglishTitle:DevelopmentReportontheRevisionoftheStandardfor“CleanroomsandAssociatedControlledEnvironments—PerformanceandRationalityAssessment”

摘要

随着我国高新技术产业的迅猛发展，洁净室及相关受控环境作为微电子、生物医药、航空航天、精密制造等关键领域的核心基础设施，其性能与运行合理性直接关系到产品质量、生产安全与研发成败。现行国家标准《洁净室及相关受控环境性能及合理性评价》已实施八年，在指导行业实践方面发挥了重要作用。然而，面对产业升级、技术迭代以及国家“双碳”战略目标的新要求，原标准在评价流程的衔接性、技术内容的完备性以及能效关注度等方面亟待优化与提升。

本报告系统阐述了本次标准修订的背景、目的、核心意义及主要技术内容。修订工作旨在构建覆盖洁净室“设计-建造-运行”全生命周期的、更加科学合理的分段评价体系，强化各阶段评价的衔接与闭环管理。主要技术修订包括：优化评价流程与术语定义，完善各阶段（特别是设计阶段）的评价内容与方法，引入能效评价模块以响应节能减排的国家战略，并建立更为清晰的评价分级体系。本次修订将显著提升标准的先进性、实用性与指导性，为洁净室行业的高质量、绿色低碳发展提供坚实的技术支撑，对保障国家战略性新兴产业的安全与竞争力具有深远意义。

关键词：洁净室；受控环境；性能评价；合理性评价；标准修订；全生命周期；能效评价；标准化技术委员会

Keywords:Cleanroom;ControlledEnvironment;PerformanceAssessment;RationalityAssessment;StandardRevision;WholeLifeCycle;EnergyEfficiencyAssessment;StandardizationTechnicalCommittee

正文

一、修订背景与目的意义

洁净室及相关受控环境是通过控制空气中悬浮微粒、温度、湿度、压力等参数，以满足特定工艺要求的特殊空间。其性能的可靠性与运行的合理性是保障半导体芯片良率、药品无菌安全、航天器可靠性的基石。现行的《洁净室及相关受控环境性能及合理性评价》国家标准（GB/T系列）自发布实施以来，首次系统性地提出了分设计、建造、运行三个阶段进行评价的框架，为行业的规范化评价提供了基本依据，发挥了历史性作用。

历经八年实践，行业内外环境已发生深刻变化：首先，产业需求驱动技术升级。我国集成电路、创新药研发、新型显示等产业进入快速发展期，工艺线宽不断缩小，对洁净环境的粒子浓度、分子污染控制等提出了近乎极限的要求，洁净室技术本身也从传统的“空间环境控制”向更精细的“工作表面微环境控制”演进。其次，可持续发展成为全球共识。洁净室是公认的能耗大户，其能耗可达普通公共建筑的10-20倍。随着我国“碳达峰、碳中和”战略的深入推进，以及企业自身降本增效的需求，洁净室的节能减排已成为社会、行业和企业关注的焦点。最后，标准自身需要与时俱进。原标准在实施过程中，暴露出各阶段评价衔接不够紧密、设计阶段评价方法较为笼统、缺乏对能效的系统性考量等问题，难以完全适应新技术、新理念下的评价需求。

因此，本次标准修订的核心目的与意义在于：

1.优化评价体系，强化过程衔接：通过重构评价流程，使设计评价、建造安装评价、运行性能评价三个阶段形成有机整体，实现从蓝图到运营的全链条、闭环式质量管理。

2.完善技术内容，提升评价精度：补充和细化各阶段，尤其是设计合理性评价的具体内容与方法，使评价工作更具可操作性和指导价值，推动洁净室工程从“符合性”向“最优性”转变。

3.引入能效维度，响应国家战略：首次系统性地增加能效评价内容，引导行业在设计之初就考量节能方案，在运行阶段监控能耗指标，推动洁净室技术向绿色、低碳方向转型。

4.建立分级体系，增强标准先进性：构建清晰的评价分级体系，能够更精准地反映不同等级、不同用途洁净室的实际水平，为行业树立标杆，促进整体技术水平的提升。

二、范围与主要技术内容修订要点

本标准适用于各类洁净室及相关受控环境（如隔离装置、洁净工作台等）在其全生命周期内的性能与合理性评价。本次修订在保持标准框架稳定的基础上，进行了系统性的优化与深化，主要技术内容变更如下：

1.结构调整与流程优化：

*将原标准第4章“评价与项目进程的关联及程序”调整为“评价流程及一般要求”，使章节主题更鲜明。

*将评价流程示意图（图1）明确为“洁净室全生命周期过程开