基于元胞自动机方法的MEMS加工工艺模拟：原理、应用与优化.docxVIP

基于元胞自动机方法的MEMS加工工艺模拟：原理、应用与优化

一、引言

1.1MEMS技术概述

微机电系统（MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystem），又被称作微电子机械系统、微系统或微机械，指的是尺寸在几毫米甚至更小的高科技装置。其内部结构一般处于微米甚至纳米量级，是一个高度集成的独立智能系统，主要由传感器、动作器（执行器）和微能源这三大部分构成。MEMS技术融合了物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程以及生物工程等多学科知识与工程技术，是在微电子技术（半导体制造技术）的基础上发展起来的，综合运用光刻、腐蚀、薄膜、LIG