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超高分辨率场发射扫描电子显微镜

JSM-7800F介绍

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JSM-7800F的特长

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JSM-7800F的特长

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浸没式肖特基场发射电子枪

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浸没式肖特基场发射电子枪

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用浸没式肖特基场发射电子枪进行快速分析

１.可进行高通量的EDS分析

２.可进行高空间分辨率的EDS分析

〈应用实例〉

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应用实例1.高通量的EDS分析

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应用实例2.高空间分辨率的EDS分析

样品：IC截面

定量面分布(重量%)

测试倍率：x22,000加速电压：6kV探针电流：8nA

能将N和Ti分离获取元素面分布图

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应用实例2.高空间分辨率的EDS分析

样品：IC截面

定量面分布(重量%)

测试倍率：x22,000加速电压：6kV探针电流：8nA

能将N和Ti分离获取元素面分布图

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JSM-7800F的特长

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超级混合式物镜(SHL)

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Semi-in-lens和Out-lens的不同和特长

①超高分解率观察

②最适合于磁性材料的观察和EBSD分析

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semi-in-lens物镜和out-lens物镜的功能评估

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超级混合式物镜(SHL)的功能评估

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15

SHL

①超高分辨率观察

1.碳上的镀金颗粒

2.石墨烯

3.锂离子电池的隔膜

4.蓝光光盘

〈应用实例〉

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应用实例1.碳上的镀金颗粒

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应用实例2.石墨烯

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应用实例3.锂离子电池的隔膜

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应用实例4.蓝色光盘(记录层)

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20

SHL

②最适合于磁性材料和EBSD分析的电子光学设计

1.磁性材料分析：Fe3O4纳米颗粒集合体

2.EBSD晶体取向分析：钕铁硼

3.EBSD晶体取向分析：碳钢

〈应用实例〉

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应用实例1.Fe3O4纳米颗粒集合体

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应用实例2.钕铁硼

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应用实例3.碳钢EBSD图像

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LDF模式的大面积EBSD分析

3cm

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JSM-7800F的特长

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新型探测器系统

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通过新型探测器检测样品

样品：碳上的镀金颗粒

加速电压：3.0kV

WD：2.5mm

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通过新型探测器检测信号

能量过滤器

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通过新型探测器检测信号

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信号

短WD:背散射电子为主

信息

表面

形貌

长WD:二次电子和极低

角度背散射电子混合

通过新型探测器检测信号

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通过新型探测器检测信号

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可以同时观察获取四种画像

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用新型探测器选择信息

1.催化剂：Au@TiO2

2.石墨烯

〈应用实例〉

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1.催化剂：Au@TiO2

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2.石墨烯

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JSM-7800F规格

电子枪：浸没式肖特基场发射型

物镜：超级混合式透镜(SHL)

加速电压：0.01～30.0kV

・0.01～0.49kV只限于GB模式

探针电流:pA级～200nA以上(加速电压为15.0kV时)

二次电子像分辨率

・高加速：0.8nm@15.0kV(GB)

・低加速：1.2nm@1.0kV(GB)

・极低加速：3.0nm@0.1kV(GB)

・分析：3.0nm@15kV,5nA,WD10mm

WD:2.0～25.0mm(LDF模式时可达41mm)

倍率:x25～1,000,000

探测器:UED/LED/USD*/BED*(*选配)

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