大气中与基片表面的悬浮分子污染物(AMC)的研究.pdfVIP

第18届国际污染控制掌术论坛 大气中和基片表面的悬浮分子污染物(^眦)的研究 大气中和基片表面的悬浮分子污染物(AMC)的研究 andgikuoXak剥a, Sumika ServiceLtd． ChemicalAnalysis 9·l，Kitasode,Sodegama,Chiba，299-0266，Japan 摘要 对大气中和粘附在基片表面的AMC发散源和特性进行评定的方法．对产生问题的机理，排 除的策略和解决I；7题的对策的理论上的思考等进行了研究。由各种高技巧的步骤(采样、移动、 预处理、浓缩、蒸发和注射)组成了对AMC进行超微分析的方法。这些步骤旨在引起分析物的 污染和戚损失。用各种经过样品分析在同时获得的检验数据可以真实地证明所得数据的可靠性。 l简介 图。用两相指数方程和计算出的数据可以预 测洁净室内的浓度与经过的月数的关系。 我们已经报道过对大气中，发散源 (t-游)，基片(下游)上的各种AMC的 评定方法。我们也调查过AMC的特性、污 染过程、问题产生的机理和避免问题的技 巧。最前沿的分析方法应该用检验数据(如 代用物，采样、清洁峰值和注入峰值的恢复 率，各步骤中的空值)加以控制和检验，这 样得到的结果才是可靠的。也曾从化学家和 分析家的观点对调研AMC的特性进行过探 讨，因此才能制定出解决问题的有效对策。 2评估／分析方法 2．1复合材料的除气试验 制定出的评定方法已经成为JACANo． 34-1999标准，并被ISOFDIS14644—8采用。 该方法依据的事实是试验中的除气量与按 Clausius Clapeyron方程式得出的试验温度 (％)的反值成正比，就象复合物的蒸气压 力倾向于l厂r(％)。用这种方法，可以很容 j：嚣=高搿罄馏6-4”“。 易地用除气数据处于测定范围内时的高温 下的除气量数据预测出室温下的发散量。曾 图1．有机复合物的蒸气压力 报道过蒸气压力与每种化合物温度的对应 第18届国际芹染控制学术论坛 大气中和基片表面的悬浮分子污染物(^啪)的研究 2．2依据除气试验数据选择材料，实现洁净空间 1) 用一个小端头样品的除气试验数据很难选择除气得使材料。 2) 用样品板的除气试验数据选择得使材料的压制和成型条件。 3) 用置于试验舱内24小时的硅晶片样品表面的AMC量选择最少除气的舱。得到最好的 晶片承载器，满足ITRS 2003@20lo要求的洁净度。 2．3大气中AMC的分析方法；JACANo．35A-2003 2．3．1金属和掺杂物 用此方法可以测定0．1 ag／m3的金属。对用溶剂吸收采样法得到的数据和过滤器收集 的数据进行比较，可以预测污染物是气态还是其它形态。 表1日本空气洁净协会标准目录 JACA号标准 版本 34．1999洁净室建蜘构造材料发散的悬浮分于污染物的评估标准 J B 35A一2003洁净室和相关受控环境中各级AMC的空气洁净度等级划分标准及评估方法 J E 38-2002洁净室化学空气过滤器性能测试的除气方法导则 J 40-2005洁净室测试方法标准 J 42-2006