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PVD技术在球阀阀体上的应用

一球阀球体镀膜的背景

球阀中用作硬密封构件的球阀阀体和阀座经常在极为恶劣的环境下工作，构

件容易因为高温氧化、腐蚀、磨损而失效。这类球阀的球体一般采用304、316

不锈钢作基体，再用超音速喷涂镍基碳化钨(Ni-WC)，以提高密封面的结合强度

(≥75MPa)和低的空隙率(3％～5％)，表面硬度可达到832HV(65HRC)。

但是在球阀上喷涂镍基碳化钨存在以下几个缺陷：一是涂层与基体主要靠机

械结合，所以其与基体的结合强度较低；二是涂层存在一定的气孔，这对于要求

耐腐蚀的工作环境是不利的；三是一些喷涂方法往往产生多种对环境有害的因

素，如粉尘、噪声、有害气体等；四是喷涂后球阀表面硬度高，极难进行精加工。

由于阀门硬密封构件制造成本高，阀芯阀座维护更换通常需要整体研磨，因

此寻求一种提高硬密封构件使用寿命的方法具有重大的经济效益。为了避开上述

喷涂的缺点，可以将物理气相沉积技术应用到阀门密封面上。物理气相沉积

(PhysicalVaporDeposition，PVD)技术是在真空条件下，采用物理方法将材料源

——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体

(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。PVD技术

可以在球阀表面沉积多种金属（Ti、Zr、Cr、W等）的碳化物和金属（Ti、Zr、

Cr等）的氮化物以及其它二元或多元合金的氮化物、碳化物纳米化涂层，这些

薄膜普遍具有高硬度、高耐磨性、耐腐蚀和抗高温性，在球阀的密封面上沉积可

获得超硬耐蚀涂层，显微硬度≥1800HV，最高使用温度可达750℃。PVD涂层工

艺是一种真正能够获得纳米级镀层且无污染的环保型表面处理方法。采用PVD

技术对阀门的硬密封件表面进行处理，能大幅度地提高构件的使用寿命。图1

为兰州理工大学温州泵阀研究院开发的球阀球体PVD示意图。图2为经PVD镀

膜后的球阀球体。

图1球阀球体PVD示意图图2PVD处理后的球阀球体

二球阀球体PVD镀膜的研究现状

这种阀门密封构件超硬耐蚀PVD涂层工艺，适用于需要在表面获得超硬耐

蚀涂层的各类阀杆、各种阀门的密封件、球体、阀座等阀门密封构件。但是，当

阀门密封面受的密封力较大时，由于物理气相沉积所镀的膜厚度仅为1～10µm，

如果基体硬度过低，在阀门工作时球阀将会变形凹陷，使得所镀的膜破裂，从而

失去PVD膜的各种优良性能。因此球阀的球体采用304、316不锈钢等强度、硬

度较低的材料作基体时，需要在PVD镀膜前先进行一道普通表面处理，如渗氮

或碳氮共渗等处理，经加工或研磨（与密封座配对）后，表面粗糙度应达到镜面

或Ra0.8µm以下，再镀制超硬耐蚀PVD涂层，即可用在硬密封球阀上。显然，

这样的处理过程比较繁复。

为了更好地解决304等奥氏体不锈钢基体较软，受力变形的问题，开发了

2Cr13不锈钢球阀的PVD镀膜工艺。2Cr13不锈钢属于马氏体不锈钢，可以用热

处理强化。用2Cr13不锈钢球阀进行PVD镀膜前要先进行调质处理：980℃淬火

+600℃回火，硬度可达到270HB，而304不锈钢硬度一般不会超过170HB。用

2Cr13不锈钢球阀代替304不锈钢球阀，避免了因为基体太软，在受力较大时会

变形、（膜层）破裂的问题。同时，由于TiN、CrN等薄膜比304不锈钢表面氧

化膜更致密更稳定，当在2Cr13不锈钢球阀的球体上镀了一层TiN、CrN薄膜后，

可以承受更为苛刻程度的腐蚀。

因为PVD镀膜得到的膜层极薄，对工件的尺寸影响很小，（精磨）工件在镀

膜后可以直接使用，镀膜后表面粗糙度与原工件相同。2Cr13不锈钢球阀的球体

表面镀制TiN薄膜的温度一般在300℃左右，TiN薄膜呈均匀的金黄色。在镀制

TiN之前，要先用Ar和Ti离子轰击工件表面，轰击不但形成洁净和活性表面，

还可以在工件表面形成一层过渡层，使薄膜的结合强度增加。TiN离子镀层内，

晶粒组织细小，质地致密，硬度达到2500～3000HV。由于膜层硬度高、光洁度

好，故具有优于一般化学热处理强化表面的抗咬合性。某阀门厂（超达）经测试

使用证实：2Cr13不锈钢球阀的球体镀TiN膜后在500℃、一定压力下连续反复

开