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硅基贵金属膜材料：制备、形貌调控与性质的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代材料科学的广阔领域中，硅基贵金属膜材料凭借其独特的物理化学性质，占据着极为重要的地位，对电子、能源等诸多关键领域的发展起到了强大的推动作用。

硅，作为地壳中含量仅次于氧的元素，储量丰富且具备良好的半导体特性，是半导体工业的基础材料。在半导体领域，硅基材料广泛应用于集成电路、微电子器件等，从早期的晶体管到如今高度集成的芯片，硅基材料一直是构建电子器件的核心。而将贵金属引入硅基体系形成硅基贵金属膜材料，更是为材料性能的提升和功能拓展带来了新的契机。贵金属如金（Au）、银（Ag）、铂（Pt）等，具有优异的电学