镍铂靶材合金化学分析方法 第3部分：碳含量的测定 高频红外检测法标准立项修订与发展报告.docxVIP

《镍铂靶材合金化学分析方法第3部分：碳含量的测定高频红外检测法》标准化发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReportonChemicalAnalysisMethodsforNickel-PlatinumTargetAlloys-Part3:DeterminationofCarbonContent-High-FrequencyInfraredDetectionMethod

摘要

本报告旨在系统阐述国家标准《镍铂靶材合金化学分析方法第3部分：碳含量的测定高频红外检测法》的立项背景、核心内容、技术要点及其对行业发展的深远意义。随着高端显示、半导体集成电路等产业的飞速发展，高纯度镍铂（NiPt）靶材作为关键溅射材料，其内部杂质含量，尤其是气体元素（如碳）的精确控制，直接决定了薄膜的性能与器件良率。传统的粉末冶金法在制备过程中易引入气体杂质，导致溅射异常放电，而真空熔炼法则对过程监控提出了更高要求。碳含量作为用户规定的必测项目，其分析结果的准确性与方法的标准化是保障产品质量、促进公平贸易的技术基石。本部分标准聚焦于采用高频红外检测法测定镍铂靶材合金中的碳含量，详细规定了方法的适用范围、测定区间、助溶剂选择原则及精密度要求。该标准的制定与实施，填补了国内在该领域分析方法的空白，统一了检测尺度，为靶材生产商、用户及第三方检测机构提供了科学、可靠、可对比的技术依据，对提升我国高端溅射靶材产业链的整体质量水平和国际竞争力具有重要的推动作用。

关键词：镍铂靶材；化学分析；碳含量；高频红外法；标准化；杂质控制；真空熔炼

Keywords:Nickel-PlatinumTargetAlloy;ChemicalAnalysis;CarbonContent;High-FrequencyInfraredMethod;Standardization;ImpurityControl;VacuumMelting

正文

1.立项背景与目的意义

镍铂靶材合金是制备高性能薄膜的关键原材料，广泛应用于平板显示、半导体存储、光伏电池等高科技领域。其传统制备工艺多采用粉末冶金法，即将高纯度的镍（Ni）粉与铂（Pt）粉混合后烧结成型。该方法虽能赋予合金较好的后续可加工性，但其固有缺陷亦十分明显：合金致密度难以达到极高要求，且在复杂的粉体处理与烧结过程中极易引入各类杂质。其中，气体杂质（如碳、氧、氮等）的混入危害尤为突出，它们在后续的物理气相沉积（PVD）溅射过程中可能引发等离子体不稳定、异常放电（Arcing）等现象，严重时会导致薄膜缺陷、器件性能下降乃至生产线宕机，造成重大经济损失。

为攻克上述难题，产业界已普遍转向采用真空熔炼法制备高端镍铂靶材合金。该工艺在真空或保护性气氛下进行，通过一次或多次精炼，能够有效去除气体杂质，获得高致密、成分高度均匀且杂质含量极低的合金锭。然而，工艺的先进性必须以精准的检测手段为依托。碳元素作为影响材料导电性、热稳定性和溅射性能的关键杂质之一，其含量成为产品质量的核心控制指标，也是上下游企业贸易合同中的必检项目。因此，建立一套准确、快速、重现性好的碳含量标准分析方法，不仅是生产企业进行工艺优化和质量控制的内部需求，更是保障市场公平交易、建立行业互信、推动产品质量整体跃升的必然要求。制定《镍铂靶材合金化学分析方法第3部分：碳含量的测定高频红外检测法》国家标准的根本目的，即在于此。

2.范围与主要技术内容

2.1适用范围与测定范围

本标准明确规定其适用于一系列常见牌号的镍铂靶材合金，包括但不限于NiPt3、NiPt5、NiPt10、NiPt15、NiPt30、NiPt60等。这些牌号覆盖了从低铂含量到高铂含量的主要产品系列，确保了标准的广泛适用性。在测定范围上，本标准将碳（C）含量的测定下限设定为0.001%(10ppm)，上限为0.02%(200ppm)。该范围精准对标了高端镍铂靶材对碳杂质控制的严苛要求，完全满足了当前产业对超低含量碳分析的技术需求。

2.2核心技术内容

本标准的核心技术内容围绕高频红外吸收法展开，这是一种基于燃烧-红外检测原理的先进分析方法。样品在高频感应炉的高温下通氧燃烧，其中所含的碳被定量转化为二氧化碳（CO?）气体。CO?气体对特定波长的红外线具有特征吸收，通过测量吸收强度的变化，即可精确计算出样品中的碳含量。该方法具有灵敏度高、分析速度快、自动化程度好、结果准确可靠等突出优点。

为确保分析的准确性与精密度，标准对以下关键技术环节进行了严格规定：

*助溶剂的选择与优化：镍铂合金熔点高，且铂元素对碳可能存在包裹效应，直接影响燃烧效率与碳的完全释放