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第三代半导体氧化镓薄膜的智能化制备工艺研究

目录

内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

第三代半导体氧化镓薄膜概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

2.1氧化镓的基本性质．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

2.2氧化镓薄膜的应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

2.3氧化镓薄膜的发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

智能化制备工艺的理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

3.1智能制造的概念与特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

3.2人工智能在薄膜制备中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.3大数据在薄膜制备中的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

第三代半导体氧化镓薄膜的智能化制备工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．18

4.1材料选择与优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

4.2制备设备的智能化改造．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．