CN102033420B 光掩模及其制造方法、图案转印方法及液晶显示装置制作方法 （Hoya株式会社）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN102033420B

(45)授权公告日2013.05.01

(21)申请号201010295533.9

(22)申请日2010.09.27

(30)优先权数据

2009-2247172009.09.29JP

(73)专利权人HOYA株式会社地址日本东京都

(72)发明人吉田光一郎

(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127

代理人李辉黄纶伟

(51)Int.CI.

GO3F1/32(2012.01)

GO3F7/00(2006.01)

GO2F1/1343(2006.01)

(56)对比文件

CN101349864A,2009.01.21,

JP9222719A,1997.08.26,

JPA,1998.01.27,

JP2003287872A,2003.10.10,CN1118457A,1996.03.13,

JP7064271A,1995.03.10,

审查员李明卓

权利要求书2页说明书10页附图12页

(54)发明名称

光掩模及其制造方