CN101251416A 紫外火焰传感器及其制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公布说明书

[21]申请号200810044571.X

[51]Int.Cl.

G01J1/02(2006.01)

G01J3/28(2006.01)

[43]公开日2008年8月27日[11]公开号CN101251416A

[22]申请日2008.4.10

[21]申请号200810044571.X

[71]申请人电子科技大学

地址610054四川省成都市建设北路二段4号

[72]发明人董政黄大贵张列平张德银黄逸平

权利要求书2页说明书4页附图2页

[54]发明名称

紫外火焰传感器及其制作方法

[57]摘要

紫外火焰传感器及其制作方法，涉及一种日盲型紫外火焰传感器件。本发明提供一种结构简单、尺寸小、稳定性好、强度高、线性度和灵敏度高的紫外传感器，和通用性好、工艺简单、成本低的传感器制备方法。其特征在于，其中包括：透紫玻璃片；网状阳极，该阳极层制作在透紫玻璃片上；阴极衬底玻璃片；光电阴极，该层制作在阴极衬底玻璃片上面；玻璃环，该玻璃环制作在阴极和阳极中间；抽真空口，该抽真空口制作在玻璃环上；塑封底座，该底座制作在阴极衬底玻璃片下面；阴极和阳极引出线，该引出线粘接在塑封底座上，分