CN101538003A 微机械变压器及其制作方法 （西北工业大学）.docxVIP

[51]Int.Cl.

[51]Int.Cl.

B81B7/02(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公布说明书

[21]申请号200910022029.9

[43]公开日2009年9月23日[11]公开号CN101538003A

[22]申请日2009.4.15

[21]申请号200910022029.9

[71]申请人西北工业大学

地址710072陕西省西安市友谊西路127号[72]发明人苑伟政虞益挺乔大勇

[74]专利代理机构西北工业大学专利中心代理人夏维力

权利要求书1页说明书4页附图4页

[54]发明名称

微机械变压器及其制作方法

[57]摘要

本发明公开了一种微机械变压器及其制作方法，属于智能微型器件领域。该微机械变压器的第三导体3位于基底4上，与外界地相连；第一导体1与第二导体2均通过锚点6悬置于基底4上，第一导体1输入电压Vin,第二导体2输出感应电压Vindue。各导体两两之间构成平板电容。此外，该变压器还可以通过更多悬置导体的形式得到多级变压器。该微机械变压器可以通过以下工艺过程得到：基底上生长薄膜、刻蚀、结构材料上刻蚀锚点、键合、减薄、刻蚀结构材料。本发明提出的新