GB/T 47082-2026碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法.pdf

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  •   |  2026-01-28 颁布
  •   |  2026-08-01 实施

GB/T 47082-2026碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法.pdf

ICS77.040

CCSH17

中华人民共和国国家标准

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GBT470822026

碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法

Testmethodforstackinfaultsofolishedmonocrstallinesiliconcarbidewafers

gpy

2026-01-28发布2026-08-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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