GB/T 47080-2026金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法.pdf

ICS77.040

CCSH17

中华人民共和国国家标准

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GBT470802026

金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法

Testmethodfordislocationdensitofdiamondsinlecrstalolishedwafer

ygyp

2026-01-28发布2026-08-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT470802026

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)与全国半导体设备和材料标准

SACTC203

化技术委员会材料分技术委员会(//)共同提出并归口。

SACTC203SC2

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本文件起草单位中国科学院半导体研究所德州学院成都中科米格检测技术有限公司中国石油

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集团工程材料研究院有限公司河南碳真芯材科技有限公司吉林大学安徽光智科技有限公司山东

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大学嘉兴沃尔德金刚石工具有限公司北京大学东莞光电研究院浙江先导微电子科技有限公司北京

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特思迪半导体设备有限公司宁波晶钻科技股份有限公司河南省惠丰金刚石有限公司哈工大郑州研

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究院南京同溧晶体材料研究院有限公司湖北碳六科技有限公司南京瑞为新材料科技有限公司成都

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市玖展科技有限公司佳睿福钻石河南有限公司

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