氮化镓功率器件:技术、应用及未来展望;
氮化镓材料与器件简介
氮化镓功率器件技术
氮化镓功率器件应用
氮化镓功率器件未来展望
结束语;
01
氮化镓材料与器件简介;
材料特性;
·Ⅲ-V族化合物,宽禁带半导体
·Ga与N显著的电负性差异→极化
·易形成各类Ⅲ族(主要是AI、Ga、In)氮化物合金→High-Electron-MobilityTransistor;;
1952;
第三代半导体功率器件的典型应用场景;
02
氮化镓功率器件技术;
□传统Si功率器件普遍采用垂直结构,而GaN由于GaN衬底成本高昂的限制,主要采用
基于硅衬底的横向HEMT结构。;
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