CN101980083B 激光干涉光刻技术制作过滤膜网孔结构的方法 （长春理工大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101980083B

(45)授权公告日2013.02.20

(21)申请号201010279175.2

(22)申请日2010.09.13

(73)专利权人长春理工大学

地址130022吉林省长春市卫星路7089号

(72)发明人刘洋王作斌赵乐刘兰娇徐佳侯煜翁占坤宋正勋胡贞

张锦等.用于大面积周期性图形制造的激光干涉光刻.《光电工程》.2001,第28卷(第6期),

审查员王方

(51)Int.CI.

GO3F7/20(2006.01)

(56)对比文件

CN

1690857A,2005.11.02,

CN

2432001Y,2001.05.30,

CN

101844272A,2010.09.29,

CN

101727010A,2010.06.09,

CN

1862353A,2006.11.15,

权利要求书1页说明书3页附图1页

(54)发明名称

激光干涉光刻技术制作过滤膜网孔结构的方法

(57)摘要

CN101980083B本发明公开了一种采用激光干涉光刻技术制作过滤膜网孔结构的方法和系统，利用光的干涉特性，不同的曝光方法会产生不同孔径、孔间