CN101931080B 基于mems的直接甲醇燃料电池被动式阳极及制作方法 （清华大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101931080B

(45)授权公告日2013.01.30

(21)申请号201010246059.0

(22)申请日2010.08.05

(73)专利权人清华大学

地址100084北京市100084-82信箱

(72)发明人王晓红周彦安刘理天

(74)专利代理机构北京众合诚成知识产权代理

有限公司11246代理人张文宝

(51)Int.CI.

HO1M4/86(2006.01)

HO1M4/88(2006.01)

(56)对比文件

CN101645514A,2010.02.10,全文.

US2003/0103878A1,2003.06.05,全文.审查员蒲俊红

权利要求书1页说明书4页附图8页

(54)发明名称

基于MEMS的直接甲醇燃料电池被动式阳极及制作方法

11(57)摘要

11

基于MEMS技术的直接甲醇燃料电池被动式阳极结构及其制作方法属于微能源和微机械加工技术领域。该阳极包括甲醇储存极板和水储存极板两块硅极板，分别用于储存甲醇和水；所述甲醇储存极板的正面为甲醇储存腔，背面设有甲醇输出孔，在甲醇储存腔与甲醇输出孔之间设置一层疏水化的多孔硅膜，传输甲醇并抑制水的反向传输；所述水储存极板的正面为水储存腔，背面为多个长条形沟道，并在水储存极板的背面设置一层电流收集层；所述甲醇储存极板的背面和水储存极板的正面通过键合工艺组装到一起。制作工艺简单，与传统微工艺的兼容性好，有利于实现电池与其他系统的集成；同时，多孔硅膜具有面

CN101931080B权利要求书1/1页

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1.基于MEMS的直接甲醇燃料电池被动式阳极，其特征在于：该阳极包括甲醇储存极板和水储存极板两块硅极板，分别用于储存甲醇和水；所述甲醇储存极板的正面为甲醇储存腔，背面设有甲醇输出孔，在甲醇储存腔与甲醇输出孔之间设置一层疏水化的多孔硅膜，传输甲醇并抑制水的反向传输；所述水储存极板的正面为水储存腔，背面为多个长条形沟道，并在水储存极板的背面设置一层电流收集层；所述甲醇储存极板的背面和水储存极板的正面由PDMS膜通过键合工艺组装到一起，构成完整的阳极结构。

2.根据权利要求1所述的基于MEMS技术的直接甲醇燃料电池被动式阳极，其特征在于：所述甲醇储存极板和水储存极板的材料为硅；所述电流收集层由Ti层、Cu层和Au层组成，或者由Ti层和Pt层组成。

3.基于MEMS技术的如权利要求1所述的直接甲醇燃料电池被动式阳极结构制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)制作水储存极板：

采用500μm-550μm厚的双面抛光的n型100晶向硅片，进行双面热氧化生长20-50nm厚的SiO?,然后采用LPCVD双面淀积200-300nm厚的Si?N4;

采用双面光刻工艺，在正面生成水储存腔的图形，在背面生成电流收集图形，并用RIE刻蚀去除图形区域的Si?N?,用氢氟酸HF去除SiO?;

采用质量分数为30-40%的KOH溶液在75-85℃,250-350W超声下进行体硅腐蚀，刻蚀直到穿透硅片；

在极板背面溅射金属厚度依次为20-40nm、500-800nm和100-200nm的Ti层、Cu层和Au层，或者溅射金属厚度依次为20-40nm和200-300nm的Ti层和Pt层作为电流收集层；

(2)制作甲醇储存极板：

采用500μm-550μm厚的双面抛光的n型掺杂的电阻率为0.001-0.02欧姆·毫米的100晶向硅片，进行双面热氧化生长20-100nm厚的SiO?,然后采用LPCVD双面淀积200-300nm厚的Si?N4;

采用双面光刻工艺，在正面生成甲醇储存腔的图形，在背面生成甲醇输出孔的图形，并用RIE刻蚀去除图形区域的Si?N?,用氢氟酸去除SiO?;

采用质量分数为30-40%的KOH溶液在75-85℃,250-350W超声下进行体硅腐蚀，直到留下的硅膜厚度为50-150μm时停止；

采用阳极氧化法生长多孔硅，溶液采用体积比为3:1-1:1的氢氟酸与无水乙醇的混合溶液，电流密度为30-300mA/cm2,直到多孔硅产生穿孔；然后对多孔硅硅片背面用ICP进行刻蚀，将剩余的部分硅刻蚀去除；

用70-100℃的质量分数为5%-20%