CN101937128A 一种三压电悬臂梁驱动的mems微镜及其制作方法 （北京理工大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN101937128A

(43)申请公布日2011.01.05

(21)申请号201010229832.2

(22)申请日2010.07.19

(71)申请人北京理工大学

地址100081北京市海淀区中关村南大街5

号

(72)发明人曹茂盛赵全亮袁杰

(51)Int.CI.

GO2B26/08(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图4页

(54)发明名称

一种三压电悬臂梁驱动的MEMS微镜及其制作方法

(57)摘要

CN101937128A本发明涉及一种三压电悬臂梁驱动的MEMS微镜设计及制作方法，属于压电MEMS器件设计和集成制作技术领域。本发明包括微反射镜面、压电悬臂梁和弓形弯曲弹性窄梁，压电悬臂梁由硅悬臂梁表面固定厚度大于2μm的PZT驱动膜组成；三个压电悬臂梁分别通过三个弓形弯曲弹性窄梁与微反射镜面连接，压电悬臂梁两两之间呈120°夹角分布。本发明的制作方法首先在基片上制备压电厚膜，然后在压电厚膜上刻蚀压电悬臂梁图形；其次在PZT压电厚膜表面制作Au/Cr双层金属上电极和微反射镜面图形；最后在正面和背面刻蚀S