星载微波电路用高纯氧化铝基板的工艺适用性验证技术.PDFVIP

·工程实践·

星载微波电路用高纯氧化铝基板的工艺适用性验证技术

112122

王平曲媛高鸿贾旭洲何端鹏刘泊天

22

于利夫文明

（1中国空间技术研究院西安分院，西安710100）

（2中国空间技术研究院，北京100094）

文摘为了确保星载微波电路用高纯氧化铝基板的国产化可靠替代，本文通过全面分析星载产品用高

纯氧化铝基板的工艺适用性验证需求，研究建立了星载微波电路用高纯氧化铝基板的工艺适用性验证指标体

系，确定了验证试验项目，利用微波电路工艺件试验和组件产品环境适应性考核等试验验证手段，示范性地阐

释了陶瓷基板类材料工艺适用性验证方法。研究表明，基于验证需求分析确定验证项目，通过试验与工艺实

践获得各类验证数据进行多维度综合评价，可以给出客观完整、科学有效的工艺适用性验证结论。

关键词微波电路，高纯氧化铝基板，工艺适用性验证

中图分类号：V19DOI：10.12044/j.issn.1007-2330.2023.02.024

ProcessSuitabilityVerificationTechnologyofHigh-purityAlumina

SubstratesforSpaceborneMicrowaveCircuits

11212

WANGPingQUYuanGAOHongJIAXuzhouHEDuanpeng

222

LIUBotianYULifuWENMing

（1ChinaAcademyofSpaceTechnology（Xian），Xian710100）

（2ChinaAcademyofSpaceTechnology，Beijing100094）

AbstractInordertoensurethedomesticreliablereplacementofhigh-purityaluminasubstratesforsatellite

microwavecircuits，therequirementsforprocesssuitabilityverificationofhigh-purityaluminasubstratesforspaceborne

productsareanalyzedcomprehensively，researchhasestablishedaprocesssuitabilityverificationindexsystemforhigh-

purityaluminasubstratesusedinspacebornemicrowavecircuits，verificationtestprojectiscomfirmed，experimetal