CN106756901B 亚稳态高镁MgZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法 （长春理工大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN106756901B

(45)授权公告日2019.03.08

(21)申请号201611052809.4

(22)申请日2016.11.25

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN106756901A

(43)申请公布日2017.05.31

(73)专利权人长春理工大学

地址130022吉林省长春市朝阳区卫星路

7089号

(72)发明人刘全生张希艳柏朝晖卢利平王晓春王能利米晓云孙海鹰

(74)专利代理机构长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)22210

代理人陶尊新

(51)Int.CI.

C23C18/14(2006.01)

(56)对比文件

CN104388898A,2015.03.04,全文.

CN102385939A,2012.03.21,全文.

CN101894893A,2010.11.24,全文.

CN101285173A,2008.10.15,全文.

US5626670A,1997.05.06,全文.

MingsongWang,etal..Opticaland

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