《微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感器 第1部分:通用性设计标准》.docx

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T/CSCPXXXX-2025

T/CSCPXXXX-2025

ICS77.060

CCSH25

中国腐蚀与防护学会团体标准

T/CSCPXXXX-2025

微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感器

第1部分:通用性设计标准

MEMSmaterialcorrosionchipandsensor

Part1:Universaldesignstandards

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

MEMS材料腐蚀芯片及传感器第1部分:通用性设计标准

1范围

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