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《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第3部分：通用性测试标准》.docx

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    T/CSCPXXXX-2025

    T/CSCPXXXX-2025

    ICS77.060

    CCSH25

    中国腐蚀与防护学会团体标准

    T/CSCPXXXX-2025

    微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器

    第3部分：通用性测试标准

    MEMSmaterialcorrosionchipandsensorPart3：Universaltestingstandard

    XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

    微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感器第3部分：通用性测试标准

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