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CN109698144B 使用计算机视觉系统的原位室清洁终点检测系统和方法 （朗姆研究公司）.docxVIP

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  • 2026-03-04 发布于山西
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CN109698144B 使用计算机视觉系统的原位室清洁终点检测系统和方法 （朗姆研究公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN109698144B

    (45)授权公告日2025.05.09

    (21)申请号201811223497.8

    (22)申请日2018.10.19

    (65)同一申请的已公布的文献号

    (74)专利代理机构上海胜康律师事务所31263专利代理师李献忠张静

    (51)Int.Cl.

    H01L21/67(2006.01)

    H01L21/66(2006.01)

    (56)对比文件

    US4479848A,1984.10.30

    审查员陈颂杰

    权利要求书3页说明书16页附图14页

    申请公布号

    (43)申请公布

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