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第5期沈时俊等：石英挠性加速度计伺服电路水汽环境失效模式分析

4结束语社，2012：1-5.

[3]谢康，洪明，李丙旺．厚膜HIC金属封装腔内水汽的影

本文针对非气密封装石英挠性加速度计伺服响及控制[J]．海峡科技与产业，2017（5）：116-117.

电路在长期水汽环境下的失效模式，采用高倍镜[4]杨永国，郭育武，康军．用于加速度测量的伺服电

检、电子显微镜及元素能谱分析等方法开展失效路——LB309原理分析[J]．兵工学报，1986（3）：

模式分析。重点探究了该类电路在长期水汽环境12-18.

[5]崔粲，聂鲁燕，李立勇，等．石英挠性加速度计温度稳

中遭受多元素腐蚀污染及银离子迁移问题的成因

定