CN107034452A 柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法 （长春理工大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN107034452A

(43)申请公布日2017.08.11

(21)申请号201710281202.1

(22)申请日2017.04.26

(71)申请人长春理工大学

地址130022吉林省长春市朝阳区卫星路

7089号

(72)发明人徐铭泽王洋李金华楚学影金芳军徐英明魏志鹏方铉王晓华

(74)专利代理机构长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)22210

代理人陶尊新

(51)Int.CI.

C23C18/12(2006.01)

CN107034452A权利要求书1页说明书4页

CN107034452A

(54)发明名称

柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法

(57)摘要

柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法属于光电器件制作技术领域。现有物理方法制作成本高。本发明其特征在于：步骤1,配制可旋涂溶胶，在室温及搅拌工艺条件下，在有机溶剂中加入乙酸锌、硝酸锌、单乙醇胺、乙酰丙酮及掺杂物质，其中乙酸锌与硝酸锌的摩尔比为(4.7~5):(2.8～3),掺杂物质的加入量按杂质离子相对于锌离子其摩尔浓度为1～3%而定，至此获得可旋涂