CN106970437A 基于紫外光刻技术的反射式光栅的制作方法 （南京邮电大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN106970437A

(43)申请公布日2017.07.21

(21)申请号201710321577.6

(22)申请日2017.05.09

(71)申请人南京邮电大学

地址210023江苏省南京市栖霞区文苑路9

号

(72)发明人陆颢瓒王德波

(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限

公司32200代理人刘莎

(51)Int.CI.

GO2B5/18(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图4页

(54)发明名称

基于紫外光刻技术的反射式光栅的制作方法

23

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CN106970437A本发明公开了一种基于紫外光刻技术的反射式光栅的制作方法，是一种高效，高精度，高分辨率的光栅制作方法，该光栅以二氧化硅为基底，在基底上设有多个平行的楔形反射式面，整个光栅表面镀银，以提高反射效果。制作过程中主要应用了倾斜光刻来制作楔形反射面，通过控制掩模板的大小和形状可以制作任意尺寸的光栅器件。由于单次生产出来的是大型的光栅，可以通过切割获得成片光栅，从而达到单片光栅的利益最大化。同时，紫外光刻法不会产生鬼线