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化合物半导体的外延生长设备项目安全评估报告.docx

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    化合物半导体的外延生长设备项目安全评估报告

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    化合物半导体的外延生长设备项目安全评估报告

    目录

    TOC\o1-9序言 3

    一、定性、定量安全评价 3

    (一)、安全管理单元 3

    (二)、厂址条件、平面布置及建、构筑物单元 5

    (三)、生产单元 6

    (四)、公用工程及辅助设施单元 9

    二、环境评价 13

    (一)、环境评价概述 13

    (二)、评价化合物半导体的外延生长设备项目概况 13

    (三)、环评单位的基本情况 14

    (四)、评价范围及目的 16

    (五)、评价依据 18

    (六)、国家环保法律法规 18

    (七)、地方环保规定 18

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