十五五AI芯片的制造过程化学试剂绿色替代研发，减少环境危害的可持续投资.pptxVIP

十五五AI芯片的制造过程化学试剂绿色替代研发，减少环境危害的可持续投资;目录;;光刻与刻蚀工艺中的高危“隐形杀手”：全面盘点强酸、强碱及有机溶剂的毒性、持久性与生物累积性风险;清洗与去胶过程的环境负荷：解析超纯水消耗与含氟化合物排放带来的水资源压力与温室气体效应加剧难题;金属化与化学机械抛光（CMP）的污染挑战：揭露重金属离子与研磨液废弃物的处理困境及对生态系统的长期威胁;十五五窗口期的战略紧迫性：结合全球碳中和目标与我国制造业升级需求，论证绿色转型已从“选择题”变为“必答题”;;光刻胶与显影液的绿色化创新：探索生物基、水基及低挥发性单体材料，在确保图形保真度的前提下大幅降低VO