磁浮运动平台：驱动半导体设备迈向千亿市场.pdfVIP

全球市场研究报告

半导体设备用磁浮运动平台，是指在半导体制造、检测与封装设备中，以电磁力或电磁-永磁混合力实现被

载体（如晶圆、掩模、基板等）与基座之间完全非接触悬浮，并通过闭环控制实现多自由度、高精度、高动

态定位与扫描运动的精密运动平台系统。

根据QYResearch最新调研报告显示，预计2032年全球半导体设备用磁浮运动平台市场规模将达到1.69

亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为12.5%。

图.半导体设备用磁浮运动平台，全球市场总体规模

CAGR:

12.5%

6年增速:

CAGR:11.6%$169Mn

10.3%$83.49Mn

$74.21Mn

2025