CN114765121B 基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统 (东京毅力科创株式会社).docxVIP

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  • 2026-03-07 发布于山西
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CN114765121B 基板搬送装置、基板搬送方法以及基板处理系统 (东京毅力科创株式会社).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114765121B

(45)授权公告日2025.05.02

(21)申请号202210002402.X

(22)申请日2022.01.04

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114765121A

(43)申请公布日2022.07.19

(30)优先权数据

2021-0025792021.01.12JP

(73)专利权人东京毅力科创株式会社地址日本东京都

(72)发明人波多野达夫渡边直树

(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277

专利代理师刘新宇

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