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SEM仪器操作指南型号信息说明书.pdf

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    扫描电镜（SEM）样本制备方法

    1、扫描电子显微镜是现代材料科学（金属材料、非金材料、纳米材料等）、生

    物学、医学、半导体材料、化学化工等科技领域中常见的分析工具。越来越多的

    科研人员选用扫描电子显微镜进行三维形貌观察和分析、微区的成分分析等。在

    扫描电镜分析过程中，样品制备是至关重要的一个环节，会直接影响观察效果、

    照片质量、设备寿命等。因此，本文专门针对SEM样品要求和制备方法进行详

    细讲解。

    2、SEM样品要求

    2.1样品不含水分

    湿的样品会释放出水蒸气，往往真空度很难上去，而且水蒸气遇到高能电子束，

    会被电离，还会增加电子束

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