大面积容性耦合放电驻波效应对驱动电势分布均匀性的影响.pdfVIP

物理学报

Acta

Phys.

Sin.Vol.74,No.13(2025)135208

大面积容性耦合放电驻波效应对驱动电势分布

均匀性的影响*

1)2)3)3)3)

张逸凡

贾文柱

田罡煜

屈庆源

王登志

3)3)1)†

曹新民

周剑

宋远红

1)

(大连理工大学物理学院,

大连116023)

2)

(西南大学人工智能学院,

重庆400715)

3)

(苏州迈为科技股份有限公司,

苏州215200)

(2025

年3

月5日收到;

2025

年4

月16日收到修改稿)

在光伏和平板显示等领域,

通常采用大面积容性耦合腔室进行等离子体增强化学气相沉积.

随着腔室尺

寸增大和驱动频率提高,

受驻波效应影响,

驱动电极电势幅值分布不均匀,

从而导致沉积薄膜不均匀的问题日

益凸显.

针对此问题,

本文通过流体模型与传输线模型耦合,

以光伏硅基薄膜沉积中常用的硅烷氢气混合气

体为研究对象,

考虑电子-中性粒子弹性碰撞,

研究了气压、气体比例和功率等参数对表面波传播以及驱动电

极电势幅值分布的影响.

模拟结果与实际工艺腔室中薄膜沉积实验结果进行了对照,

验证了驱动电极电势幅

值分布与薄膜厚度分布之间的对应关系.

研究表明,

在功率较低硅烷含量较高时,

表面波的径向衰减十分显著,

从而成为影响驱动电势幅值分布不均匀的主导因素.

本文还研究了调整电源馈入位置和采用多个电源馈入

点来优化电势幅值分布均匀性的方法,

受表面波波长限制,

这两种方法效果有限.

而采用曲面电极能显著提

升电势幅值分布的均匀性,

然而对参数设定和加工精度要求较高.

本研究不仅深化了对驻波效应作用机制的

理解,

还为工业生产中解决驻波效应对薄膜均匀性的影响提供理论支撑与指导,

有望推动相关产业技术革新.

关键词：容性耦合放电,

等离子体增强化学气相沉积,

驻波效应

PACS：52.80.Pi,

81.15.Gh,

43.20.KsDOI:10.7498/aps.74

CSTR：32037.14.aps.74

13.56

MHz提高至27.12

MHz,

甚至更高.

然而,

[4–9]

这也导致沉积薄膜不均匀的问题日益突出.

如

1

引言