GB/T 47073-2026表面化学分析　深度剖析　中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析.pdf

ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

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GBT470732026ISO231702022

表面化学分析深度剖析中能离子

散射术对硅基底上纳米尺度

重金属氧化物薄膜的无损深度剖析

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SurfacechemicalanalsisDethrofilinNon-destructive

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dethrofilinofnanoscaleheavmetaloxidethinfilmson

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Sisubstrateswithmediumenerionscatterin

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(:,)

ISO231702022IDT

2026-01-28发布2026-08-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT470732026ISO231702022

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4MEIS分析的原理和建议………………1

5MEIS分析………………2

6MEIS谱模拟……………2

7MEIS谱分析结果报告…………………4

()……………………

附录资料性实验室间测试报告

A5

()……

附录资料性谱模拟程序源代码列表和使用进行谱模拟的程序

BMEIS