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CN112631089B 基板处理方法以及基板处理装置 （株式会社斯库林集团）.docxVIP

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  • 2026-03-08 发布于山西
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CN112631089B 基板处理方法以及基板处理装置 （株式会社斯库林集团）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN112631089B

    (45)授权公告日2025.05.13

    (21)申请号202010877538.6

    (22)申请日2020.08.27

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN112631089A

    (43)申请公布日2021.04.09

    (30)优先权数据

    2019-1725602019.09.24JP

    (73)专利权人株式会社斯库林集团

    地址日本京都府京都市上京区堀川通寺之

    内上4丁目天神北町1番地之1

    (72)发明人堀越章中村昭平高辻茂

    河野元宏木村贵弘小林健司

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