CN106052915B 一种mems光纤压力传感器的制作方法 （南京信息工程大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN106052915B公告日2019.02.01

(21)申请号201610582111.7

(22)申请日2016.07.22

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN106052915A

(43)申请公布日2016.10.26

(73)专利权人南京信息工程大学

地址210044江苏省南京市宁六路219号

(72)发明人葛益娴赵伟绩张鹏

(74)专利代理机构南京钟山专利代理有限公司

(56)对比文件

CN205861261U,2017.01.04,CN103091013A,2013.05.08,CN1614371A,2005.05.11,

CN104502016A,2015.04.08,

US20130298697A1,2013.11.14,审查员刘妍

32252

代理人戴朝荣

(51)Int.CI.

GO1L1/24(2006.01)

GO1L11/02(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图1页

(54)发明名称

一种MEMS光纤压力