CN106052915A 一种mems光纤压力传感器及制作方法 （南京信息工程大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN106052915A

(43)申请公布日2016.10.26

(21)申请号201610582111.7

(22)申请日2016.07.22

(71)申请人南京信息工程大学

地址210044江苏省南京市宁六路219号

(72)发明人葛益娴赵伟绩张鹏

(74)专利代理机构南京钟山专利代理有限公司

32252

代理人戴朝荣

(51)Int.CI.

GO1L1/24(2006.01)

GO1L11/02(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图1页

(54)发明名称

一种MEMS光纤压力传感器及制作方法

(57)摘要

CN106052915A本发明公开了一种MEMS光纤压力传感器及制作方法，包括光纤、压力敏感元件和基座，所述基座的上表面设置有光纤槽，所述光纤安装在所述光纤槽内，所述压力敏感元件和基座的尺寸相同，所述压力敏感元件的下表面和基座的上表面通过阳极键合相互连接，所述光纤的一端与所述压力敏感元件之间相对间隔一定的距离从而形成法布里-珀罗腔；本发明具有体积小，能批量生

CN106052915A