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NI国家仪器 半导体测试系统 NI STS 说明书用户手册.pdf

NI国家仪器 半导体测试系统 NI STS 说明书用户手册.pdf

    应用指南

    使用NISTS进行MEMS生产测试

    应用指南

    目录

    03摘要

    03什么是MEMS设备？

    05在生产中测试MEMS传感器

    06用于生产的NI半导体测试系统(STS)

    09MEMS的典型STS混合信号配置

    09测试单元组件

    10生产中执行的典型测试和测量

    17示例结果

    19结论

    使用NISTS进行MEMS生产测试

    摘要

    微机电系统(MEMS)设备已成为现代技术不可或缺的一部分，推动了消费电子、汽车系统、医

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