NI国家仪器 半导体测试系统 NI STS 说明书用户手册.pdf

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应用指南

使用NISTS进行MEMS生产测试

应用指南

目录

03摘要

03什么是MEMS设备?

05在生产中测试MEMS传感器

06用于生产的NI半导体测试系统(STS)

09MEMS的典型STS混合信号配置

09测试单元组件

10生产中执行的典型测试和测量

17示例结果

19结论

使用NISTS进行MEMS生产测试

摘要

微机电系统(MEMS)设备已成为现代技术不可或缺的一部分,推动了消费电子、汽车系统、医

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