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CN110344013B 溅射方法 （北京北方华创微电子装备有限公司）.docxVIP

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  • 2026-03-09 发布于山西
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CN110344013B 溅射方法 （北京北方华创微电子装备有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN110344013B

    (45)授权公告日2025.05.23

    (21)申请号201910763676.9

    (22)申请日2019.08.19

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN110344013A

    (43)申请公布日2019.10.18

    (73)专利权人北京北方华创微电子装备有限公司

    地址100176北京市北京经济技术开发区

    文昌大道8号

    (72)发明人邓斌白志民李强耿宏伟孙颖韩立仁

    (74)专利代理机构北京国昊天诚知识产权代理有限公司11315

    专利代理师

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