TCAEE-光刻胶剥离液准编制说明.pdfVIP

《光刻胶剥离液》

团体标准（征求意见稿）

编制说明

标准编制工作组

2026年1月

目录

一、任务来源1

二、编制背景和目的2

三、编制过程4

四、主要起草单位及起草人所做的工作4

五、标准的编制原则5

六、标准主要内容5

七、标准水平分析5

八、与现行法律法规和相关标准的协调情况7

九、重大分歧意见的处理经过和依据7

十、标准作为推荐性或强制性标准的建议7

十一、贯彻标准的要求和措施建议7

十二、废止现有有关标准的建议7

一、任务来源

当前，半导体与显示面板产业正处于技术迭代加速、市场规

模持续扩张的关键时期，光刻胶剥离液作为微电子制造过程中的

核心辅助材料，直接影响芯片制程精度、器件可靠性与产品良率。

随着5G通信、人工智能、高端显示等下游应用领域对半导体器

件集成度、显示分辨率的要求不断提升，市场对光刻胶剥离液的

剥离效率、选择性、兼容性及环境安全性等性能指标提出了更为

严苛的要求。然而，行业内缺乏统一的技术规范，不同企业生产

的剥离液在成分体系、性能参数、应用工艺等方面差异显著，导

致上下游产