CN112038258B 基板处理装置及其控制方法 (东京毅力科创株式会社).docxVIP

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  • 2026-03-10 发布于山西
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CN112038258B 基板处理装置及其控制方法 (东京毅力科创株式会社).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN112038258B

(45)授权公告日2025.06.03

(21)申请号202010470221.0

(22)申请日2020.05.28

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN112038258A

(43)申请公布日2020.12.04

(30)优先权数据

2019-1047992019.06.04JP

(73)专利权人东京毅力科创株式会社地址日本东京都

(72)发明人枇杷聪冈村聪五师源太郎

(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277

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