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- 2026-03-10 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号CN110739288B
(45)授权公告日2025.05.30
(21)申请号201911101347.4H01L21/48(2006.01)
(22)申请日2019.11
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