CMP设备抛光头掉片检测系统及其工作方法.pdfVIP

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(21)申请号201621085173.9

B24B49/00(2012.01)

(22)申请日2016.09.27

B24B55/00(2006.01)

(73)专利权人清科机电科技地址300350市津南区海河科技园区聚兴

道9号，8号楼

专利权人

(72)发明人路新春温诗铸王同庆

(74)专利机构清亦华（普通合伙）11201

人威

(51)Int.GI.

B24B37/005(2012.01)

B24B37/34(2012.01)

B24B49/16(2006.01)

(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

权利要求书1页说明书4页附图1页

(54)实用新型名称

CMP设备抛光头掉片检测系统

(57)

本实用新型公开了一种CMP设备抛光头掉片