CN105675921A 一种加速度传感器及其制作方法 （上海芯赫科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(43)申请公

(10)申请公布号CN105675921A布日2016.06.15

(21)申请号201610032044.1

(22)申请日2016.01.18

GO1P21/00(2006.01)

(71)申请人上海芯赫科技有限公司

地址201800上海市嘉定区平城路1455号

新微大厦B座405室

(72)发明人周志健朱二辉陈磊杨力建邝国华

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

11332

代理人孟金喆胡彬

(51)Int.CI.

权利要求书2页说明书10页附图21页GO1P

权利要求书2页说明书10页附图21页

(54)发明名称

一种加速度传感器及其制作方法

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CN105675921A本发明公开了一种加速度传感器及其制作方法，所述方法包括：在衬底中形成空腔和位于所述空腔上方的与衬底绝缘并依次相互绝缘连接的第一悬空薄膜、第二悬空薄膜和第三悬空薄膜；在所述第一悬空薄膜上形成与之电连接的第一电极，在所述第二悬空薄膜上形成与之电连接的第二电极，在所述第三悬空