基于半固着磨具的蓝宝石延性域加工：机理、工艺与性能研究.docx

基于半固着磨具的蓝宝石延性域加工：机理、工艺与性能研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

蓝宝石（\alpha-Al_2O_3）作为一种重要的氧化物晶体材料，凭借其出色的综合性能，在众多领域得到了广泛应用。在光学领域，由于其在紫外到红外波段具有高透光率，常被用于制造光学窗口、透镜以及各种光电器件中的关键光学元件，如高功率激光器的窗口材料，能够有效承受高能量激光的冲击，确保光子能量的高效传输和低损耗。在电子领域，蓝宝石与氮化镓（GaN）具有较低的晶格失配率（仅为16%），这使得它成为GaN外延生长的理想衬底材料，被大量应用于LED、集成电路（IC）和射频器件等的制造。特别是在蓝光和