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CN112289847B 用于制造垂直型基于鳍片的场效应晶体管的方法和系统 （半导体元件工业有限责任公司）.docxVIP

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  • 2026-03-12 发布于山西
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CN112289847B 用于制造垂直型基于鳍片的场效应晶体管的方法和系统 （半导体元件工业有限责任公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN112289847B

    (45)授权公告日2025.06.06

    (21)申请号202010713496.2

    (22)申请日2020.07.22

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN112289847A

    (43)申请公布日2021.01.29

    (30)优先权数据

    62/877,2242019.07.22US

    (73)专利权人半导体元件工业有限责任公司地址美国亚利桑那州

    (72)发明人克里夫·德劳利雷·米拉诺苏巴什·皮达帕蒂

    安德鲁·P·爱德华兹崔浩沙欣·谢里夫扎德

    (74

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