CN112599406B 用于基于uv抑制等离子体不稳定性的系统和方法 (朗姆研究公司).docxVIP

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  • 2026-03-12 发布于山西
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CN112599406B 用于基于uv抑制等离子体不稳定性的系统和方法 (朗姆研究公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN112599406B

(45)授权公告日2025.06.06

(21)申请号202011189122.1

(22)申请日2017.09.11

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN112599406A

(43)申请公布日2021.04.02

(30)优先权数据

15/261,7372016.09.09US

(62)分案原申请数据

201710811367.52017.09.11

(73)专利权人朗姆研究公司地址美国加利福尼亚州

(72)发明人尚卡·斯瓦米纳森

(74)专利代理机构上海胜康

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