传感器技术 课件 第6章环境传感器.pptx

第6章环境传感器;理论知识;6.1;1.气敏传感器的基础知识;气敏元件应用领域;1.气敏传感器的基础知识;1.气敏传感器的基础知识;（4）灵敏度：;（5）分辨率;;;;;;;2.常见气体传感器工作原理;2.常见气体传感器工作原理;;（1）MOS二极管气敏元件

在Р型硅上集成一层二氧化硅(SiO2)层，在氧化层上蒸发一层钯(Pd)金属膜作电极。

氧化层(SiO2)电容Ca固定不变，而硅片与SiO2层电容Cs是外加电压的功函数，因此传感器总电容C也是偏压的函数，MOS二极管的等效电容C随偏压U变化。

由于金属钯(Pd)对氢气(H2)特别敏感，当Pd电极有氢气吸附时，Pd的功函数下降，使M