CN102447013A 薄膜太阳能电池制作工艺、薄膜太阳能电池前体层堆叠的制造方法和太阳能电池前体层堆叠 （应用材料公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN102447013A

(43)申请公布日2012.05.09

(21)申请号201110304183.2

(22)申请日2011.09.29

(30)优先权数据02010.10.05EP

(71)申请人应用材料公司

地址美国加利福尼亚州

(72)发明人斯特凡·克莱恩杜比亚斯·斯托利苏珊娜·布斯史鲍姆马丁·罗德科拉德·施沃恩特兹

克利斯汀·斯多摩

(74)专利代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司11258

代理人王安武

(51)Int.CI.

HO1L31/20(2006.01)

HO1L31/0392(2006.01)

HO1L31/076(2012.01)

C23C16/40(2006.01)

权利要求书2页说明书11页附图8页

(54)发明名称

薄膜太阳能电池制作工艺、薄膜太阳能电池前体层堆叠的制造方法和太阳能电池前体层堆叠

(57)摘要

CN102447013A本发明涉及薄膜太阳能电池制作工艺、薄膜太阳能电池前体层堆叠的制造方法和太阳能电